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    LUXOR+喷金仪

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    产品概览400-8866-090


      LUXOR功喷金仪是一款全自动的磁控溅射装置,用于将导电的Au, Au/Pd膜层喷镀在电镜样品上, 该装置采用稳健安全设计,简单易用,属于第二代的喷金仪,工作原理基于微型溅射镀膜仪I,近十年来许多该装置被应用安装。帮助我们的用户能够通过高 效的设置实现不间断的操作,得到快速高质量的结果。

    产品特点 400-8866-090


      1. 优化的用户操作界面:容易上手使用,触摸屏界面上,几步向导式点击即可开始,培训操作人员不到十分钟。

      2. 样品制备站装取容易:LUXOR喷金仪样品制备站的设计方式便于样品快速简单地固定和取出,用特定镊子插入取出已成为过去式。

      3. 速度和效率的提高:LUXOR喷金仪能在一个运行过程中完成12个样品的处理,喷金过程快速且保证完美重复性。

      4. 先进的电镜防护:独特样品倒装设计的优势之一就是在喷金初始阶段疏松的颗粒会从样品上掉下来,可能随样品带入电镜引起损害,同步进行的样品干燥模式能确保样品不会携带湿气或腐蚀气体进入电镜。

      5. 改进的安全措施:样品制备站有双涂层硼硅玻璃仓和PET护罩组成,提供优异的保护和安全操作,此外仓外没有高压线缆使用。

      6. 出色的喷金分辨率:实际测试LUXOR喷金的效果比其他喷金装置更均匀更稳定,而且内置自动运行功能保证了一致的喷金条件和结果。

      7. 三重功能,多用途:LUXOR不仅仅是一台喷金仪,它也提供预设的真空等级模式以保护敏感的样品,也提供基于时间设定的样品干燥模式。

      8. 多种喷金选项:取决于应用要求,实验人员可以使用Au,Au/Pd,Pd,Ag作为靶材,喷金厚度也可以从1-50nm连续选择。

      9.稳健设计,德国制造:不仅大小适中,外形简洁,LUXOR喷金仪更是一款稳固皮实的装置,设计初心是保证用户频繁省事使用多年。

      10.和电镜的完美组合

    技术参数:

    项目

    参数

    溅射参数

    厚度连续可选1nm-50nm

    干燥参数

    真空度:5-—300Pa 时间:1-—240mins

    平均工作距离

    40mm

    靶材尺寸

    直径30mm

    支持靶材

    Au    ,Au/Pd,Pd,Ag

    连接

    电源:230/110V,50/60Hz

    真空泵电源输出230/110v,50/60Hz

    气路接头:4mm*linm

    真空管接头DN KF 16

    功率

    500W不含泵120W

    气源

    空气或5.0Ar气作为通用气,气压0.6Bar

    设备尺寸

    300mm×300mm×450mm

    重量

    11.3Kg

    工作仓

    硼硅玻璃直径100mm×高150mm

    配件

    随机提供:

    Au靶直径30mm   厚度 100um(99.   999%)

    1硼硅玻璃罩

    2橡胶密封

    1防爆罩

    1顶锁(标准样品台)

    1电源线

    1操作及安全手册

    真空泵套件

    1顶锁 Therm PH0NEM样品夹具专用 可单独订购

    双级低真空泵4. m3/h 真空软管DN KF 16Im 2x紧固件DN KF 16 2X 密封 DN KF 16 lx油零过滤器   靶材 30mm Au, Au/Pd )


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